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3D显微镜 共聚焦显微镜

产品价格(¥):面议

产品经理:  奚丹丹        

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产品描述

Zeta-20台式光学轮廓仪是非接触式3D表面形貌测量系统。 该系统采用ZDot专利技术和Multi-Mode (多模式)光学系统,可以对各种不同的样品进行测量:透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的纹理,以及纳米至毫米级别的台阶高度。

Zeta-20的配置灵活并易于使用,并集合了六种不同的光学量测技术。ZDot测量模式可同时采集高分辨率3D数据和True Color(真彩)无限远焦点图像。其他3D测量技术包括白光干涉测量、Nomarski干涉对比显微镜和剪切干涉测量。 ZDot或集成宽带反射仪都可以对薄膜厚度进行测量。 Zeta-20也是一种高端显微镜,可用于样品复检或自动缺陷检测。 Zeta-20通过提供全面的台阶高度、粗糙度和薄膜厚度的测量以及缺陷检测功能,适用于研发及生产环境。

Closeup of the Zeta-20

主要功能

  • 采用ZDot和Multi-Mode(多模式)光学器件的简单易用的光学轮廓仪,具有广泛的应用
  • 可用于样品复检或缺陷检测的高质量显微镜
  • ZDot:同时采集高分辨率3D数据和True Color(真彩)无限远焦点图像
  • ZXI:白光干涉测量技术,适用于z向分辨率高的广域测量
  • ZIC:干涉对比度,适用于亚纳米级别粗糙度的表面并提供其3D定量数据
  • ZSI:剪切干涉测量技术提供z向高分辨率图像
  • ZFT:使用集成宽带反射计测量膜厚度和反射率
  • AOI:自动光学检测,并对样品上的缺陷进行量化
  • 生产能力:通过测序和图案识别实现全自动测量
3D graph of pads and wires

主要应用

  • 台阶高度:纳米到毫米级别的3D台阶高度
  • 纹理:平滑到非常粗糙表面的粗糙度和波纹度
  • 外形:3D翘曲和形状
  • 应力:2D薄膜应力
  • 薄膜厚度:30nm到100μm透明薄膜厚度
  • 缺陷检测:捕获大于1μm的缺陷
  • 缺陷复检:采用KLARF文件作为导航以测量缺陷的3D表面形貌或切割道缺陷位置
Photo of a scientist in a lab

工业应用

  • 太阳能:光伏太阳能电池
  • 半导体和化合物半导体
  • 半导体 WLCSP(晶圆级芯片级封装)
  • 半导体FOWLP(扇出晶圆级封装)
  • PCB和柔性PCB
  • MEMS(微机电系统)
  • 医疗设备和微流体设备
  • 数据存储
  • 大学,研究实验室和研究所
  • 还有更多:请我们联系以满足您的要求

以满足您的要求。

Image of the TMC isolation table

隔离工作台

Zeta-20具有内置于系统底座的被动隔离支脚。如果需要额外的隔离,可以选用被动和主动台式隔离工作台。

VLSI Standards Incorporated Chip

台阶高度和薄膜厚度标准

Zeta-20采用VLSI标准提供的薄膜和厚膜NIST可追踪台阶高度标准。该标准采用有铬镀层的蚀刻石英台阶。台阶高度的测量范围是8nm至250μm。

系统配有多台阶认证标准包括8、25、50和100μm的标称台阶高度。 该标准具有用于XY校准的各种间距图案。薄膜厚度的认证标准适用于ZFT,该标准采用参考硅表面和标称270nm二氧化硅薄膜厚度。此外还提供粗糙度和镜面参考样品。

Screenshot of computer program showing the automated sequencing software

自动测序软件

自动测序软件利用电动XY平台,允许用户对样品上的测量位置进行编程。系统将自动对每个位置进行测量并将结果保存在用户定义的文件夹中。最终输出的报告包含样本统计信息以及汇总结果。

高级测序软件采用图案识别以自动对齐样品。这样可以减少人为错误的影响并实现全自动测量。在平台上采用嵌入式标准以启动自动校准。

Zoomed-in lens showing stitched data

拼接软件

小青视频苹果下载 自动图像拼接软件利用电动XY平台将相邻的扫描组合在一起以生成比单个视野更大的拼接数据集。系统自动测量每个点、对齐图像,并将它们组合成一个数据集。其结果可以像任何其他结果文件一样进行分析。

Screenshot of the Apex Analysis computer
              software

Apex分析软件

Apex分析软件通过水平、过滤、阶梯高度、粗糙度和表面形貌分析技术的扩展套件,增强了设备的标准数据分析能力。Apex支持ISO粗糙度计算方法以及例如ASME的本地标准。Apex还可用作报告编写平台,具有添加文本、注释和是/否合格的功能。Apex提供八种语言的版本。

Screenshot of the Offline Analysis computer software

离线分析软件

小青视频苹果下载 Zeta-20离线软件具有与设备软件相同的数据分析和配方创建功能。 这使用户无需占用宝贵的设备时间即可创建配方并分析数据。