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Plasma-therm RIE / ICP干法刻蚀设备

仪器简介: ◆配置:2”~8” 手动 / 半自动 / 全自动(片盒对片盒) /全自动多腔(片盒对片盒) ◆领域 :三五族(GaAs / SiC),GaN功率及射频器件、VCSELs的器件等化合物产业及MEMS和Si基半导体产业等 ◆制程 : RIE / ICP

Plasma-therm HDRF干法低温去胶去Polymer及DRIE深硅刻蚀侧壁平滑设备

仪器简介: ◆配置:2”~8” 手动 / 半自动 / 全自动(片盒对片盒) / 全自动多腔(片盒对片盒) ◆领域 : MEMS和功率器件产业 ◆应用 : 低温去胶 / 去侧壁Polymer / 深孔侧壁平滑

Plasma-therm DRIE深硅刻蚀设备

小青视频苹果下载Plasma-Therm是致力于DRIE深硅刻蚀的世界知名设备提供商, 产品涵盖2”~ 8”的样片范围,广泛应用于MEMS等相关行业。 仪器简介: ◆配置:2”~8” 手动 / 半自动 / 全自动(片盒对片盒) /全自动多腔(片盒对片盒) ◆领域:MEMS微机电器件 ◆制程:DRIE深硅刻蚀(Bosch 工艺)

KLA Candela 900 / 920表面缺陷及EPI外延缺陷检测设备

适用于Si硅片及GaN外延片,SiC基片及SiC外延片表面缺陷及EPI外延缺陷的检测分析,包含微粒、划伤、坑点、污染、痕迹,同时也可以添加PL功能用以检测某些GaN EPI缺陷及SiC EPI缺陷。该设备可以兼容透明片和不透明片。

KLA Candela 8400 / 8420 / 8720表面颗粒(缺陷)检测设备

小青视频苹果下载KLA-Tencor Candela 8400 / 8420 / 8720面缺陷检测设备是针对半导体行业的表面缺陷的检查分析仪器。该设备利用激光扫描样品的整个表面,通过4个频道(散射光频道、反射光频道、相移频道及Z频道)的探测器所收集到的信号,快速的将缺陷(包括微粒、划伤、坑点、污染、痕迹等)进行分类,统计每一种缺陷的数量并且量测出相应的缺陷尺寸,最后给出整个表面的缺陷分布图以及检测报告。根据预先设定的标准,可以给出检测样品合格与否的判断。同时8720型号可以针对化合物GaN外延材料进行高精度的外延缺陷(裂痕,凹坑等)检测,在化合物外延领域拥有很好的市场占有率。

FRT样片厚度及TTV/BOW/Warp翘曲检测设备

小青视频苹果下载FRT Microprof系列设备是针对半导体行业的样片厚度及TTV/BOW/Warp翘曲检测的设备方案。该设备利用白光的光源,上下双探头的设计,测试时样片放置在上下两个探头的中间位置,一次测试可以快速的提供样片厚度及几何参数相关的所有信息:厚度,TTV,Bow,Warp,TIR,LTV等。 同时该设备可以搭载红外IR的探头,该探头可以穿透Si/GaAs等材料,监控背面减薄制程前后Si片或者GaAs片的厚度。FRT Microprof系列设备以其精准的测量能力,非接触的测量方式,快速的测试速度,上下双探头符合SEMI标准的测试方式,使得该设备在半导体,MEMS,在化合物外延领域拥有很高的市场占有率。

PECVD / ICPCVD薄膜沉积设备

小青视频苹果下载Plasma-Therm是致力于PECVD / ICPCVD(HDPCVD)的世界知名设备提供商, 产品涵盖2”~ 8”主流PECVD / ICPCVD(HDPCVD)薄膜生长工艺,广泛应用于三五族(GaAs / SiC )、GaN功率及射频器件、VCSELs器件等化合物产业及MEMS和Si基半导体产业。 仪器简介: ◆配置:2”~8” 手动 / 半自动 / 全自动(片盒对片盒) / 全自动多腔(片盒对片盒) ◆领域 :三五族(GaAs / SiC),GaN功率及射频器件、VCSELs的器件等化合物产业及MEMS和Si基半导体产业等 ◆制程 : PECVD / ICPCVD(HDPCVD)

机械手臂

Genmark自动化公司为全球半导体,数据存储和平板显示器产业设计、开发和制造高精度机器人,并提供运动控制和集成工具的自动化解决方案,是一家在大气和真空机器人领域的处于领先地位的OEM供应商。

Scientech湿法设备 Wet Process Machine

2002年,辛耘企業投入批次式濕製程設備研發製造,已經獲得國內外客戶採用與肯定。目前辛耘擁有 5,000㎡ 生產製造廠房,還擁有 Class 10 等級無塵室服務客戶製程驗證。產品包含手動 / 半自動 / 全自動的批次濕製程設備,提供客戶2”~12”製程應用需求。特有的 cassette type / boat type / cassette-less type 技術提供半導體晶圓、藍寶石、玻璃、太陽能晶圓、薄化晶圓等等..的應用。此外,專利產品Advantech Dry 提供客戶各種關鍵乾燥的製程應用。

T-Series水平式炉管

小青视频苹果下载设备简介: Tempress 是世界著名半导体扩散设备供应商,成立50年来已经供应超过2000套设备在半导体行业

SL473 Series: 晶圆激光打标系统

小青视频苹果下载设备简介: Towa 是业界领先的半导晶圆激光打标设备供应商,其前身是著名的LaserFront系统。

VeraFlex III XF ---X射线光电子光谱分析系统 (XPS)

小青视频苹果下载设备简介: Nova是半导体业界领先的专注于薄膜量测分析设备供应商,提供超高分辨率XPS+XRF in-line量测系统 VeraFlexIII+ XF是第四代超高分辨率XPS(X-Ray光电子光谱分析系统),用于超薄膜成分及厚度量测以达到薄膜工艺质量控制

NGR3550 ---电子束缺陷检测及图形测量分析系统

NGR是半导体业界领先的专注于电子束缺陷检测,大规模几何图形测量分析判断系统。NGR3550是新一代高分辨率型号

F50 系列 光学膜厚仪

F50 系列 自动化薄膜测绘 Filmetrics F50 系列的产品能以每秒测绘两个点的速度快速的测绘薄膜厚度。一个电动R-Theta 平台可接受标准和客制化夹盘,样品直径可达450毫米。(耐用的平台在我们的量产系统能够执行数百万次的量测!) 測绘圖案可以是极座標、矩形或线性的,您也可以创造自己的测绘方法,并且不受测量点数量的限制。內建数十种预定义的测绘圖案。 不同的 F50 仪器是根据波长范围来加以区分的。 标准的 F50是最受欢迎的产品。 一般较短的波长 (例如, F50-UV) 可用于测量较薄的薄膜,而较长的波长则可以用来测量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。

F20 系列光学膜厚仪

世界上最畅销的台式薄膜厚度测量系统 只需按下一个按钮,您在不到一秒钟的同时测量厚度和折射率。设置同样简单, 只需插上设备到您运行Windows?系统计算机的USB端口, 并连接样品平台 , F20已在世界各地有成千上万的应用被使用. 事实上,我们每天从我们的客户学习更多的应用. 选择您的F20主要取决於您需要测量的薄膜的厚度(确定所需的波长范围)

T150 UTM拉伸测量仪

T150 UTM拉伸测量仪能够测量材料的应变率敏感度对时间的响应。 它采用电磁传感器产生拉力(形成样品上的负载),并结合精确的电容传感,在很大的应变范围内提供高灵敏度测量。 它还允许用户使用动态表征模式研究生物材料的张力/压缩特性,该模式能精确测量每一个测试点。

InSEM HT高温测试系统

小青视频苹果下载InSEM?HT(高温)通过在真空环境中分别独立加热压头和样品以测量高温下的硬度、模量和刚度。 InSEM HT与扫描电子显微镜(SEM)和聚焦离子束(FIB)工作室,或独立的真空工作室兼容。 配有的InView软件可帮助高级研究人员开发新的实验。科学出版文献表明,InSEM HT结果与传统的大规模高温测试数据匹配良好。测试温度范围宽以及拥有成本低的特点使InSEM HT成为材料开发研究计划中很有价值的设备。

NanoFlip

小青视频苹果下载NanoFlip纳米压痕仪可在真空和常压条件下对硬度、模量、屈服强度、刚度和其他纳米力学测试进行高精确度的测量。在扫描电子显微镜(SEM)和聚焦离子束(FIB)系统中,NanoFlip在测试(例如柱压缩)方面表现优异,可以将SEM图像与机械测试数据同步。NanoFlip测量迅速,这对于惰性环境(例如手套箱)中测试异质材料很关键。系统所配置的可选套件,例如InForce50电磁驱动器,可以提供定量结果,从而为材料研究提供有价值的解决方案。

iNano纳米压痕仪

iNano?纳米压痕仪可轻松测量薄膜、涂层和少量材料。 该仪器准确、灵活,并且用户友好,可以提供压痕、硬度、划痕和通用纳米级测试等多种纳米级机械测试。 该仪器的力荷载和位移测量动态范围很大,因而可以实现从软聚合物到金属材料的精确和可重复测试。 模块化选项适用于各种应用:材料性质分布、特定频率测试、刮擦和磨损以及高温测试。 iNano提供了一整套测试扩展选项,包括样品加热、连续刚度测量、NanoBlitz3D/4D属性映射和远程视频选项。

iMicro纳米压痕仪

iMicro纳米压痕仪可轻松测量硬涂层,薄膜和少量材料。该仪器准确、灵活,并且用户友好,可以提供压痕、硬度、划痕和通用纳米级测试等多种纳米级机械测试。 可互换的驱动器能够提供大动态范围的力荷载和位移,使研究人员能够对软聚合物到硬质金属和陶瓷等材料做出精确及可重复的测试。模块化选项适用于各种应用:材料性质分布、特定频率测试、刮擦和磨损测试以及高温测试。 iMicro拥有一整套测试扩展的选项,包括样品加热、连续刚度测量、NanoBlitz3D / 4D性质分布,以及Gemini 2D力荷载传感器,可以提供摩擦和其他双轴测量。